Etch Rates for Micromachining Processing(Source:UC Berkeley)
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半導體器件制造中的清洗技術
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江蘇中科漢韻半導體有限公司是一家碳化硅MOSFET芯片設計、生產、銷售的企業。由中國科學院微電子研究所和徐州中科芯韻半導體產業投資基金共同投資，公司具有雄厚的SiC器件綜合研究、開發、經營管理的能力和規?；a的能力，已擁有多項發明專利；公司產品將廣泛應用于電動汽車、數據中心、機器人等新基建領域。
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